辖32个行政村，61个自然村，总人口74078人。

半程镇下辖村：土门村、田庄子村、张庄子村、中孙沟村、半程村、闵墩村、上艾崮村、前孙沟村、尚庄村、小郝埠村、西南庄村、邓庄村、后南庄村、大闵沂村、后孙沟村、司庄村、后沙汀峪村、褚庄村、赵家村、后大郝埠村、中大郝埠村、团埠村、枣林庄村、东大郝埠村、聂村、前沙汀村、白草沟村、前南庄村、韩村、中南庄村、杨刘官庄村、前大郝埠村、大峪村、小集子村、东哨村、清沂庄村、老公地村、东夏庄村、辛庄村、龙汪庄村、王庄子村、小闵庄村、刘魏新村（魏峪村、刘峪村）、中沙汀峪村、西沙汀村、范村、沂田庄村、西夏庄村、下艾崮村、西哨村、永太庄村、小柳汪村、山水口村、小湖村。

共有174所小学

诸城市密州街道繁荣小学

诸城市密州街道希望小学

诸城市密州街道义和小学

诸城市密州街道南朱解小学

诸城市密州街道陆吉庄子小学

诸城市密州街道朱解小学

诸城市密州街道捎门小学

诸城市密州街道王铁联办小学

诸城市密州街道黄疃小学

诸城市密州街道花园小学

诸城市密州街道十里小学

诸城市密州街道启慧小学

诸城市密州街道东武小学

诸城市密州街道白玉山子小学

诸城市密州街道城东小学

诸城市龙都街道益民小学

诸城市龙都街道孙沟小学

诸城市龙都街道岔道口小学

诸城市龙都街道曹家庄子小学

诸城市龙都街道大七吉小学

诸城市龙都街道孔戈庄小学

诸城市龙都街道刘沟小学

诸城市龙都街道沙戈庄小学

诸城市龙都街道邱家庄子小学

诸城市龙都街道谭家庄小学

诸城市龙都街道大村小学

诸城市龙都街道善士小学

诸城市龙都街道指挥小学

诸城市龙都街道吕标小学

诸城市舜王街道程戈庄小学

诸城市舜王街道元盛小学

诸城市舜王街道劳戈庄小学

诸城市舜王街道凤凰小学

诸城市舜王街道解留小学

诸城市舜王街道孙仓小学

诸城市舜王街道九台小学

诸城市舜王街道箭口小学

诸城市舜王街道东疃小学

诸城市舜王街道雷家岭小学

诸城市舜王街道郭新庄小学

诸城市舜王街道朱尹小学

诸城市舜王街道舜王小学

诸城市舜王街道无忌小学

诸城市枳沟镇枳沟小学

诸城市枳沟镇乔庄小学

诸城市枳沟镇北杏小学

诸城市枳沟镇普庆小学

诸城市枳沟镇东安小学

诸城市枳沟镇玉皇小学

诸城市贾悦镇贾悦小学

诸城市贾悦镇王庄小学

诸城市贾悦镇韩庄小学

诸城市贾悦镇徐宋小学

诸城市贾悦镇太古庄小学

诸城市贾悦镇大村小学

诸城市贾悦镇东宋小学

诸城市贾悦镇拐庄小学

诸城市贾悦镇吴家庄小学

诸城市贾悦镇孟疃小学

诸城市贾悦镇张庄小学

诸城市贾悦镇范家官庄小学

诸城市贾悦镇苑庄小学

诸城市贾悦镇马庄小学

诸城市贾悦镇朱堡小学

诸城市贾悦镇程家庄子小学

诸城市贾悦镇黄庄小学

诸城市贾悦镇珠藏小学

诸城市贾悦镇灌津小学

诸城市贾悦镇臧家营子小学

诸城市贾悦镇岳戈庄小学

诸城市石桥子镇石桥子小学

诸城市石桥子镇刘家庄小学

诸城市石桥子镇朱苏铺小学

诸城市石桥子镇西王院小学

诸城市石桥子镇都吉台小学

诸城市石桥子镇大近戈庄小学

诸城市石桥子镇里丈学校

诸城市石桥子镇大里户小学

诸城市石桥子镇吴家楼小学

诸城市石桥子镇楼子小学

诸城市相州镇相州小学

诸城市相州镇小梧村小学

诸城市相州镇胡兰小学

诸城市相州镇曹家泊学校

诸城市相州镇后莲池小学

诸城市相州镇城阳小学

诸城市相州镇南张洛小学

诸城市相州镇北戈庄小学

诸城市相州镇郭家屯小学

诸城市相州镇王交小学

诸城市相州镇封家岭小学

诸城市相州镇秦家河崖小学

诸城市昌城镇昌城小学

诸城市昌城镇东老庄小学

诸城市昌城镇芦河小学

诸城市昌城镇邵河岔小学

诸城市昌城镇孙村小学

诸城市昌城镇巴山小学

诸城市昌城镇得利斯小学

诸城市昌城镇双塘小学

诸城市昌城镇大下泊小学

诸城市昌城镇重兴小学

诸城市昌城镇友于学校

诸城市昌城镇芝灵小学

诸城市百尺河镇百尺河小学

诸城市百尺河镇于庄小学

诸城市百尺河镇桃元小学

诸城市百尺河镇朱村小学

诸城市百尺河镇王家大村小学

诸城市百尺河镇岳沟小学

诸城市百尺河镇盆渠小学

诸城市百尺河镇龙泉小学

诸城市百尺河镇大仁和小学

诸城市百尺河镇小仁和小学

诸城市辛兴镇辛兴小学

诸城市辛兴镇朱庙小学

诸城市辛兴镇振兴小学

诸城市辛兴镇米沟小学

诸城市辛兴镇齐沟小学

诸城市辛兴镇华元小学

诸城市辛兴镇润东小学

诸城市辛兴王家屯小学

诸城市辛兴镇市子口小学

诸城市林家村镇皂户小学

诸城市林家村镇林家村小学

诸城市林家村镇大屯小学

诸城市林家村镇瓦店小学

诸城市林家村镇石门小学

诸城市林家村镇赵家庄子小学

诸城市林家村镇管疃小学

诸城市林家村镇大村小学

诸城市林家村镇大岳峙小学

诸城市林家村镇桃园小学

诸城市林家村镇石河头小学

诸城市林家村镇琅古尧小学

诸城市林家村镇东红小学

诸城市林家村镇万家庄小学

诸城市林家村镇竹元小学

诸城市林家村镇东夼小学

诸城市桃林乡桃林小学

诸城市桃林乡马家庄子小学

诸城市桃林乡草屋小学

诸城市桃林乡鹤现小学

诸城市桃林乡曹家沟小学

诸城市桃林乡山东头小学

诸城市桃林乡阿洛子小学

诸城市桃林乡桃园小学

诸城市皇华镇皇华小学

诸城市皇华镇龙家庄子小学

诸城市皇华镇六谷小学

诸城市皇华镇白粉子沟小学

诸城市皇华镇杨家庄子小学

诸城市皇华镇朱家村小学

诸城市皇华镇朱泮小学

诸城市皇华镇柳林小学

诸城市皇华镇甘河子小学

诸城市皇华镇郝戈庄小学

诸城市皇华镇焦家庄子小学

诸城市皇华镇尚庄小学

诸城市皇华镇马耳山艾东小学

诸城市皇华镇寿塔学校小学部

诸城市皇华镇赵家柏戈庄小学

诸城经济开发区舜都小学

诸城经济开发区向阳小学

诸城经济开发区诸冯学校小学部

诸城经济开发区新园小学

诸城市城北职工子弟学校

诸城市府前街小学

诸城市龙源学校

诸城市密州路学校

诸城市实验小学

诸城市西郊学校

诸城市府前新艺学校

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1977年从白沙埠镇、枣沟头镇、李官乡各划出一部分村组建半程公社。

1984年改称半程乡，1994年设镇。

1997年，面积814平方千米，人口45万，辖半程、魏家峪、邓家庄、尚庄、刘家峪、大峪、闵沂墩、团埠子、大闵庄、北张庄、后沙汀峪、小闵庄、西沙汀峪、中沙汀峪、南沙汀峪、辛庄子、后孙沟、中孙沟、前孙沟、沂田庄、上艾固、小郝埠、老公地、下艾固、田家庄子、土门、北褚庄、赵家庄、西夏庄、东夏庄、司家庄、白草沟、后大郝埠、中大郝埠、前大郝埠、东大郝埠、小集子、乜家村、韩家村、范家村、王庄子、西哨、东哨、清沂庄、龙王庄、枣林庄、杨刘官庄、西南庄、中南庄、后南庄、前南庄51个行政村。

2002年，半程镇辖51个行政村，13070户、44108人，面积8134平方千米，镇区人口23760人。

2003年5月13日，省政府批复同意将费县汪沟镇石家庄、东石沟、西石沟、后社、三胜庄、永太庄、任家庄等7个村划归临沂市兰山区半程镇管辖。

2005年8月4日，兰山区政府《关于同意半程镇镇调整部分行政村规模的批复》（临兰政发[2005]38号）：同意半程镇将原有的58个行政村合并为50个。调整方案为：1、前南庄、中南庄、后南庄、西南庄合并为南庄，办公地点设在原中南庄；2、前大郝埠、中大郝埠合并为前大郝埠，办公地点设在原前大郝埠；3、前孙沟、中孙沟、后孙沟合并为孙沟，办公地点设在原中孙沟；4、前沙汀峪、西沙汀峪合并为前沙汀峪，办公地点设在原前沙汀峪；5、刘家峪、魏家峪合并为刘魏新村，办公地点设在原刘家峪；其他未调整的行政村规模保持不变。

2011年11月，将汪沟镇山水口村、小湖村、小柳汪村3个行政村划归半程镇管辖。